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真空镀膜设备

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硬质涂层设备
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发布日期:2024/5/26 21:09:28
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详细介绍

硬质涂层领域
主要针对工件表面加硬处理,提高基材硬度,耐磨度,提高抗氧化,抗腐蚀等方面
主要是车削刀具的硬度和耐磨提高。
玻璃,陶瓷表面硬化和防刮花处理。
改变基材本身性质,置换出新型功能性材料。
对特殊用途用的产品提高抗氧化和耐腐蚀。
针对军工方面的需求研发。
一、真空室
1、真空室体内径Φ1000,内高H800,主体材料为SUS304不锈钢焊接,顶底板δ25mm,内围板δ10mm,水套板δ6mm,真空室采用水套冷却;
2、前开大切门,右手开门,前门置矩形观察窗170mm×82mm,带遮挡板;
3、内部转架两边安装加热器。安装于真空室内中间及四周;
4、真空室焊接水套冷却,底进顶出,真空室冷却采用直冷式水路循环;
5、采用下转架,底部引入传动机构与偏压输入端子;
7、于顶板后方置真空计预留口KF16×2个,用于安装真空规管;
8、于真空室顶板上安装热电偶,于高阀上方安装充气阀;
二、抽气机组
1、粗抽泵 2X-70旋片泵,2台
2、助力泵 RTO.600s罗茨泵,1台(罗茨泵出气口选用底部法兰口与粗抽泵连接)
3、分子泵 JTFB-3600,2台
4、维持泵 2X-70旋片泵,1台
5、粗抽管道与维持管道采用旁通阀联接
三、蒸发源配置
1、Φ100定向圆柱电弧靶二组(4套/组+4套/组,共8套)
2、气动引弧机构,辅助阳极自动补偿电压回路、自动保护过电流系统
3、电弧靶靶材面至工件面初始距离250mm,标配钛稳弧≤60A,
四、弧电源
1、高频逆变直流弧电源二组与蒸发源搭配,共8台。
2、引弧电压 60V~80V(可根据需求调整)
3、工作电压 20V~25V
4、工作电流 50A~200A(可调)
5、保护方式 自动起弧、过载保护再起动
五、双级脉冲偏压电源
1、双级脉冲电源: 50KHZ
2、功率: 30KW
3、工作电压三档可调A档10V~200V; B档100V~800V
4、脉冲范围占空比10%~90%
六、真空测量
1、三合一复合真空计一组(复合压强控制仪)。
2、热偶计:量测大气~1.0×10-1Pa区段真空。与抽气系统搭配,作为抽气流程控制数据信号。
3、离子真空计:量测6.6×100Pa~1.0×10-4Pa区段真空,与抽气系统搭配做为抽气流程控制数据信号。
4、复合压强控制仪搭配进口高灵敏压电陶瓷阀,组成镀膜流程闭环自动控制系统。
七、全自动化控制
1、整机采用全自动控制,预设工艺菜单,可完成一键式抽气、镀膜、放气的连续流程。
2、采用三菱PLC控制,14英寸昆仑通泰大触摸屏。
3、控制柜安装元器件,基本采用和泉、欧姆龙、施耐德等国际品牌。
4、采用全自动化、工艺流程自动化、手动操作控制多模式流程。
八、升压率检测
1、升压率检测:炉体抽至极限真空,空载升压率为0.67Pa/H<按国标>
2、冷态空载24小时真空度≤6×10-4Pa。
九、场地
直列式安装 长×宽×高 4m×3.8m×4m(不含预留空间与周边配置,选配标准方式安装时控制系统与主机分开装配。)